半導(dǎo)體、集成電路芯片及封裝、液晶顯示、高精度線路板、光電器件、各種電子器件、微電子工業(yè)、大規(guī)模、超大規(guī)模集成電路需用大量的純水、高純水、超純水清洗半成品、成品。集成電路的集成度越高，線寬越窄，對(duì)水質(zhì)的要求也越高。目前我國電子工業(yè)部把電子級(jí)水質(zhì)技術(shù)分為五個(gè)行業(yè)等級(jí)，分別為18MΩ.cm、15MΩ.cm、10MΩ.cm、2MΩ.cm、0.5MΩ.cm，以區(qū)分不同水質(zhì)。

 

    1、電子、電力、電鍍、照明電器、實(shí)驗(yàn)室、食品、造紙、日化、建材、造漆、蓄電池、化驗(yàn)、生物、制藥、石油、化工、鋼鐵、玻璃等領(lǐng)域。

    2、化工工藝用水、化學(xué)藥劑、化妝品等用純水。

    3、單晶硅、半導(dǎo)體晶片切割制造、半導(dǎo)體芯片、半導(dǎo)體封裝 、引線柜架、集成電路、液晶顯示器、導(dǎo)電玻璃、顯像管、線路板、光通信、電腦元件、電容器潔凈產(chǎn)品及各種元器件等生產(chǎn)工藝用純水。

 

    1、系統(tǒng)模塊化設(shè)計(jì)，共分四部分：預(yù)處理系統(tǒng)、反滲透系統(tǒng)、EDI系統(tǒng)、終端供水系統(tǒng)。

    2、預(yù)處理系統(tǒng)主要用來去除原水中的懸浮物、濁度、色度、膠體以及部分有機(jī)物，保證產(chǎn)水符合反滲透系統(tǒng)的進(jìn)水水質(zhì)要求。

    3、反滲透系統(tǒng)主要用來去除原水中溶解性鹽類物質(zhì)、細(xì)菌、熱源等，保證產(chǎn)水符合EDI系統(tǒng)進(jìn)水水質(zhì)要求。

    4、EDI系統(tǒng)主要用來對(duì)反滲透產(chǎn)水進(jìn)行進(jìn)一步脫除溶解性的小分子鹽類物質(zhì)，產(chǎn)水達(dá)到電阻率達(dá)到15MΩ.cm以上。

    5、終端供水系統(tǒng)主要是用來將合格水輸送至用水點(diǎn)，輸送過程中對(duì)EDI產(chǎn)生進(jìn)行最后的離子交換脫鹽，使得產(chǎn)水達(dá)到電阻率達(dá)到18MΩ.cm以上。

    6、整個(gè)系統(tǒng)進(jìn)行集中控制。